官网讯——
【韩国PKC扩建群山工厂半导体氯气产能提升50%】
⑴ 韩国化学公司PKC已启动其群山工厂的韩国半导体氯气产能扩建，产能将提升50%。建群
⑵ 年产能将从目前的山工1400至1500吨提高至2100至2200吨。
⑶ 此次投资经过与三星电子协商，厂半产规模达数百亿韩元。导体
⑷ 扩建的氯气原因是高密度NAND闪存堆叠对蚀刻气体的需求激增，以及三星电子对氯化氢供应的提升扩大要求。氯化氢广泛应用于半导体晶圆的韩国清洗与蚀刻工艺，其通过氯气与氢气的建群反应制成。
山工官网讯——
【韩国PKC扩建群山工厂半导体氯气产能提升50%】
⑴ 韩国化学公司PKC已启动其群山工厂的韩国半导体氯气产能扩建，产能将提升50%。建群
⑵ 年产能将从目前的山工1400至1500吨提高至2100至2200吨。
⑶ 此次投资经过与三星电子协商，厂半产规模达数百亿韩元。导体
⑷ 扩建的氯气原因是高密度NAND闪存堆叠对蚀刻气体的需求激增，以及三星电子对氯化氢供应的提升扩大要求。氯化氢广泛应用于半导体晶圆的韩国清洗与蚀刻工艺，其通过氯气与氢气的建群反应制成。
山工